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電磁閥膜片為圓形膜狀的彈性敏感元件。當(dāng)膜片的兩面受到不同的壓力(或力)的作用時(shí)，膜片向壓力低的一面應(yīng)變移動(dòng)，使其中心產(chǎn)生與壓力差成一定關(guān)系的位移。膜片的形式主要有平膜片`垂鏈?zhǔn)侥て筒y膜片三種。
平膜片又可按周邊是否固定支撐，中心是否開(kāi)孔以及膜片區(qū)域受力分布狀況的不同等分為多種形式，其中常用的是由周邊固定的等截面圓形薄板構(gòu)成的平膜片。垂鏈?zhǔn)侥て煽拷吘壧庨_(kāi)槽的圓板構(gòu)成，其彈性應(yīng)變主要發(fā)生在邊緣環(huán)形槽處，常用這種膜片壓縮應(yīng)變管或柱來(lái)達(dá)到測(cè)壓目的。垂鏈?zhǔn)侥て挠仓行牟糠衷谑軌阂苿?dòng)時(shí)接近平移，因此用于電容式傳感器或壓電式傳感器效果較好。波紋膜片壓有環(huán)狀同心波紋。為了增加膜片中心的位移可把兩個(gè)膜片焊在一起制成膜盒或進(jìn)一步把數(shù)個(gè)膜盒串接成膜盒組。
